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GB/T37049-2018电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法12页

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GB/T37049-2018电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法简介

【标准说明】本标准规定了电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)测定电子级多晶硅中痕量基体金属杂质含量的方法。 本标准适用于GB/T 12963中在基体金属杂质小于5 ng/g范围内铁、铬、镍、铜、锌、钠含量的测定。
【标准号】GB/T 37049-2018
【中文标准名称】电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
【英文标准名称】Test method for the content of metal impurity in electronic grade polysilicon—Inductively coupled-plasma mass spectrometry method
【中国标准分类号】H17
【国际标准分类号】77_040_30
【发布日期】2018/12/28
【实施日期】2019/4/1

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资料标签:电子级 多晶硅 测定
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